ዋና አፈጻጸም እና መዋቅር ባህሪያት:
1.The area density meter and die aclosed-loop control ሊመሰርቱ ይችላሉ።
ልኬት ማወቂያ ለ ዝግ-loop ቁጥጥር ጋር 2.CCD ሥርዓት.
በጅራቶቹ ላይ 3.Paste የማጠናቀቂያ ቴፕ.
4.Double ንብርብር slurry ወደ substrate ተመሳሳይ ጎን ላይ ሊሸፈን ይችላል.
5.ከ MES ስርዓት ጋር አብረው ይስሩ እና ለመሣሪያዎች መቆጣጠሪያ የደመና መቆጣጠሪያን ያቀናብሩ።

የጥራት ክትትል እና ግብረመልስ፡-
በመስመር ላይ ለማግኘት በ X/ B ሬይ ውስጥ 1.Area density meter.
2.CCD ስርዓት ልኬት እና ጉድለት ማወቂያ.
3.NG ምልክት inkjet ህትመት.
በምድጃው ውስጥ በኤሌክትሮድ ወለል ላይ በ IR በኩል 4.Temperature መለኪያ።
5.The mass flowmeter ፍሰቱን፣ viscosity እና የሙቀት መጠን ለማግኘት በመስመር ላይ ይቆጣጠራል።
6.NMP የማጎሪያ ክትትል ለካቶድ ምድጃ እና ለአኖድ ምድጃ የእርጥበት ማወቂያ።